FIB-SEM-Ar(Xe) Dual & Triple beam Hitachi ETHOS NX5000

Hitachi Ethos NX5000 încorporează Cold FE-SEM de ultimă generație cu nivel ridicat de  luminozitate și stabilitate a fasciculului. Ethos oferă imagini de înaltă rezoluție la tensiuni joase combinate cu optica ionică pentru procesare de precizie la scară nanometrică.

Caracteristici de bază:

1. Coloană FE-SEM de înaltă performanță cu Dual Lens Mode

• Observație cu rezoluție ultra-înaltă (mod HR: semi-in lens)
• Detectare de înaltă precizie a punctului final în timp real (mod FF: Field Free (time sharing mode))

2. Procesarea materialelor cu randament ridicat

• Procesare ultra-rapidă cu densitate mare a curentului ionic (curent max. fascicul: 100 nA)
• Script programabil de utilizator pentru procesare și observare automată

3. Sistem de microeșantionare

• Control complet integrat al orientării probei pentru reducerea efectului de perdea (tehnologia ACE – Anti-Curtaining)
• Pregătirea probei TEM pentru lamele uniforme în orice orientare

4. Echipat cu triplu fascicul, oferă rezultate de calitate avansata

• Procesarea materialelor cu fascicule de ioni cu gaz nobil cu accelerație scăzută
• Funcțiile inovatoare reduc artefactele cauzate de ionii de Ga și alte artefacte de măcinare/polishare

5. Cameră mare cu mai multe porturi și suport probă pentru diverse aplicații

• Sistem capabil sa prelucreze eșantioane de dimensiuni mari, cu stabilitate excepțională a stage-ului
• Procesare probă pe suprafețe mari (155 x 155mm)

6. Time-Sharing

.

.

Link Producator