UHR Cold FE 200kV TEM/STEM Hitachi HF5000

TEM/STEM Hitachi de 200 kV cu Corector de Aberații: armonia perfectă a rezoluției imaginii și a performanței analitice

Rezoluția spațială de 0,078 nm în STEM este atinsă împreună cu o capacitate ridicată de înclinare a specimenului și detectoare EDX cu unghi solid mare, toate într-o configurație de obiectiv unică.
HF5000 se bazează pe caracteristicile STEM-ului dedicat Hitachi HD-2700, inclusiv corectorul de aberații complet automat de la Hitachi, SDD dual simetric EDX și imagistica SE corectată cu Cs. De asemenea, încorporează tehnologiile avansate TEM/STEM dezvoltate în seria HF.
Integrarea acestor tehnologii într-o nouă platformă TEM/STEM de 200 kV are ca rezultat un instrument cu o combinație optimă de imagistică și analiză sub-Å, precum și flexibilitate și capabilități unice de a aborda cele mai avansate studii.

Caracteristici de bază:

1. Corector de aberații sferice Hitachi complet automat (probe-forming)
2. Tun de electroni Cold-FEG de înaltă luminozitate și stabilitate ridicată
3. Coloană și surse de alimentare ultra-stabile pentru performanțe îmbunătățite ale instrumentului
4. Capacitate de imagistică SEM simultan cu STEM  corectate Cs, cu rezoluție atomică
5. Stage și suporți de probe reproiectate
6. Detectori EDX dublii, de 100 mm² fiecare, simetric opuși: „Symmetrical Dual SDD*”
7. Carcasă nou proiectată pentru performanțe optime în medii reale de laborator
8. O gamă largă de suporți probă Hitachi avansați

Cold-FEG de înaltă luminozitate × Stabilitate ridicată × Corrector automat de aberații Hitachi

Noul Cold-FEG de înaltă stabilitate folosește o versiune complet reproiectată a tehnologiei Hitachi cu surse de electroni cu emisie în câmp la rece. Stabilitatea totală a sistemului a fost, de asemenea, optimizată pentru a obține imagini sub-Å. Coloana, sursele de alimentare și stage-ul probei au fost toate nou proiectate pentru a oferi cea mai bună stabilitate mecanică și electrică. Combinând aceste capabilități cu corectorul Cs complet automatizat de la Hitachi, care necesită doar un singur clic de mouse, asigură toți utilizatorii că atingă cea mai bună performanță rapid și ușor.

Imagine HAADF-STEM cu monocristal Si(211) (stânga), profilul intensității imaginii (dreapta jos)
și spectrul FFT (dreapta sus)

Detectori EDX dublii, de 100 mm² fiecare, simetric opuși: „Symmetrical Dual SDD”

Analizele EDX de înaltă sensibilitate și viteză sunt obținute cu SDD-uri duble de 100 mm² opuse simetric.
Configurația SDD simetrică duală are ca rezultat o rată de detecție aproape constantă la variația înclinării probei. Pe probele cristaline, achiziția EDX poate fi efectuată simplu cu axa zonei aliniată, în comparație cu configurația cu un singur detector.
Unghiul solid mare înseamnă de asemenea, că maparea EDX poate fi realizată chiar și pe specimene sensibile la fascicul și/sau cu randament scăzut de generare a razelor X, inclusiv maparea coloanelor atomice. EDX-ul de înaltă rezoluție a pixelilor și cu câmp vizual larg este de asemenea realizabil, oferind seturi mari de date de înaltă rezoluție.

Mapare elementară EDX a coloanelor atomice de GaAs (110)

SEM & STEM simultane și corectate Cs

Imagistica SEM și STEM simultană este oferită în configurația standard, cu detector SE de tip ET.
Acest lucru permite corelarea informațiilor de suprafață cu cele interioare probei, cu perspective asupra structurii 3D a specimenului, fără a fi necesară efectuarea tomografiei 3D.
În plus, imaginea SEM corectată cu Cs oferă o rezoluție spațială mai mare cu informații de suprafață mai fidele.

Catalizator Au/CeO₂ :  imagini SEM/ADF-/BF-STEM (sus), respectiv nano-particule Au (jos)

Link Producator