UHR Semi In-Lens Cold FE-SEM Hitachi SU8600

Microscop SEM de Ultra-Înaltă Rezoluție cu sisteme de filtrare energetică și unghiulară avansate

Sursa de emisie în câmp la rece (Cold Field Emission source – CFE) este ideală pentru imagini de înaltă rezoluție, sursele CFE având dimensiunea virtuală precum și dispersia energetică foarte mici. Tehnologia inovatoare CFE Gun reprezintă cel mai avansat tip de tun FE-SEM, cu luminozitate și stabilitate superioară a fasciculului, oferind imagini de înaltă rezoluție și analiză elementară de înaltă calitate.

SU8600 deschide o nouă eră a microscoapelor electronice SEM de ultra-înaltă rezoluție cu emisie în câmp rece (CFE).  Această platformă revoluționară CFE-SEM încorporează sisteme de  imagistică multimodală complexe, automatizare, stabilitate sporită a sistemului, fluxuri de lucru eficiente pentru utilizatorii de toate nivelurile de experiență și multe altele. În același timp oferă performanțe unice la tensiuni scăzute (low voltage SEM).

  • Sursa de emisie în câmp rece (CFE) de înaltă luminozitate produsă de Hitachi oferă imagini de rezoluție ultra-înaltă chiar și la nivel scăzut al tensiuni de accelerare (inclusiv 10V tensiune de aterizare). Astfel rezoluția în SE este de 0.6 nm@15 kV, respectiv 0.7 nm@1 kV iar în mod STEM se ajunge la „lattice resolution„.
  • Un sistem inteligent de detectare combinat cu filtrul ExB permite imagistică și analize complexe.
  • Sunt disponibili o multitudine de detectori și o gamă largă de module opționale.
Detectori:
  • Upper Detector (UD) with ExB filter: SE/BSE signal mixing function
  • Lower Detector (LD)
  • Top Detector (TD) with Energy filter
  • In-Column Middle Detector (IMD)
  • Out-Column Crystal Type BSED (OCD)
  • Semiconductor Type BSED (PD-BSED)
  • Cathodoluminescence Detector (CLD)
  • STEM Detector (BF-STEM & DF-STEM)
  • Energy Dispersive X-ray Spectrometer (EDS)
  • Electron Backscattered Diffraction Detector (EBSD)

Link Producator