UHR Semi In-Lens Cold FE-SEM Hitachi SU8600

Microscop SEM de Ultra-Înaltă Rezoluție cu sisteme de filtrare energetică și unghiulară avansate

Sursa de emisie în câmp la rece (Cold Field Emission source – CFE) este ideală pentru imagini de înaltă rezoluție, sursele CFE având dimensiunea virtuală precum și dispersia energetică foarte mici. Tehnologia inovatoare CFE Gun reprezintă cel mai avansat tip de tun FE-SEM, cu luminozitate și stabilitate superioară a fasciculului, oferind imagini de înaltă rezoluție și analiză elementară de înaltă calitate.

SU8600 deschide o nouă eră a microscoapelor electronice SEM de ultra-înaltă rezoluție cu emisie în câmp rece (CFE). Această platformă revoluționară CFE-SEM încorporează sisteme de imagistică multimodală complexe, automatizare, stabilitate sporită a sistemului, fluxuri de lucru eficiente pentru utilizatorii de toate nivelurile de experiență și multe altele. În același timp oferă performanțe unice la tensiuni scăzute (low voltage SEM).

Sursa de emisie în câmp rece (CFE) de înaltă luminozitate produsă de Hitachi oferă imagini de rezoluție ultra-înaltă chiar și la nivel scăzut al tensiuni de accelerare (inclusiv 10V tensiune de aterizare). Astfel rezoluția în SE este de 0.6 nm@15 kV, respectiv 0.7 nm@1 kV iar în mod STEM se ajunge la „lattice resolution„.
Un sistem inteligent de detectare combinat cu filtrul ExB permite imagistică și analize complexe.
Sunt disponibili o multitudine de detectori și o gamă largă de module opționale.