UHR Analytical Schottky FE-SEM Hitachi SU7000
SEM Analitic „Ultra-High-Resolution” de tip Schottky FE-SEM cu cameră de mari dimensiuni și Low Vacuum pentru materiale neconductoare
- Soluții adaptate
- Parteneri de prestigiu
- Expertiză tehnică și științifică
Hitachi UHR FE-SEM SU7000 permite detecția simultană a multiplelor tipuri de electroni SE și BSE. Având capacitatea de a achiziționa în același timp și de pe aceiasi zonă a probei a până la 6 semnale și deci a tot atatora tipuri/mecanisme de contrast, SU7000 este de departe cel mai modern SEM UHR cu sursă de electroni de tip Schottky FE de pe piață.
Un FE-SEM modern necesită nu numai performanțe înalte, ci și o multitudine de funcționalități, inclusiv observare pe o suprafață largă, analiză in situ, presiune variabilă, imagini de înaltă rezoluție la tensiuni scăzute de accelerare și colectare simultană a mai multor semnale. SU7000 este conceput pentru a aborda aceste aspecte și multe altele prin furnizarea de informații îmbunătățite pentru aplicții diversificate în domeniul microscopiei electronice.
Tehnici multiple de Imagistică
SU7000 excelează în achiziția rapidă a mai multor semnale simultan pentru a răspunde nevoilor SEM din ce în ce mai complexe, de la imagistica unui câmp vizual larg până la vizualizarea structurilor sub-nanometrice și tot ce se află între ele.
Încorporarea unor sisteme optice și de detectare a electronilor nou proiectate permite achiziționarea simultană eficientă a mai multor semnale de electroni secundari și de electroni retroîmprăștiați.
Imagini multicanal
Numărul detectorilor montați pe SEM este în continuă creștere, împreună cu necesitatea de a afișa în mod eficient toate informațiile colectate.
SU7000 este capabil să proceseze, să afișeze și să salveze până la 6 semnale simultan pentru a maximiza achiziția de informații.
Tehnici de observare complexe și variate
Camera probei și sistemul de vid sunt optimizate pentru:
- Dimensiuni mari ale probei
- Manipularea probelor la diferite axe de înclinare
- Condiții de presiune variabilă
- Condiții criogenice
- Încălzire și răcire cu imagistică in situ
Microanaliză
Tunul de electroni este echipat cu un emițător Schottky care furnizează un curent de fascicul de până la 200 nA pentru a realiza diverse aplicații de microanaliză.
Camera probei și porturile sunt proiectate pentru a încorpora cât mai multe opțiuni analitice, inclusiv EDX, WDX, EBSD, catodoluminiscență și multe altele.
SU7000 echipat cu numeroase accesorii analitice unifică tehnici multidisciplinare într-o singură platformă.
Sistemul avansat de detecție al SU7000 simplifică achiziționarea de informații structurale, topografice, compoziționale, cristalografice și alte tipuri de informații prin reducerea la minimum a modificărilor condițiilor microscopului, cum ar fi distanța de lucru sau tensiunea de accelerare.
Detectori
- 2 x detectori in coloana (in-lens: UD, MD)
- 3 detectori in camera (LD, UVD, PD-BSE)
- STEM (transmisie)
- Catodoluminiscenta
Detectori SEM operabili in VP (probe neconductoare)
- PD-BSED, UVD, UD, MD
Nivele vacuum
- Vacuum înalt
- VP (variable pressure/low vacuum): 5 – 300 Pa, pentru probe neconductoare
Video-camera color (Camera navigation system)
Stânga: Imagine a probei capturate de camera instalată în interiorul camerei SEM.
Dreapta: imaginea camerei a fost transferată automat pe ecranul SEM MAP pentru navigare.
Camera Navigation corelează imaginea optică a probei cu zona de observare țintă.
Camera video instalată în camera specimenului captează imaginea specimenului în momentul introducerii acestuia. Imaginea este apoi transferată automat pe ecranul SEM MAP pentru o navigare pe probă condusă grafic prin click cu mouse-ul pe zona de interes.